1. Physique, Technique, IndustrieForme d’évaporation sous vide, où le chauffage de la matière à déposer se fait par faisceau d’électrons.En plus du graphite (pur sp2) et du diamant (pur sp3), le carbone existe sous forme amorphe et hautement désordonnée (a-C). Ces formes amorphes du carbone sont un mélange de sites à trois liaisons de type graphite ou à quatre liaisons de type diamant. De nombreuses méthodes sont utilisées pour fabriquer du a-C : pulvérisation, évaporation par faisceau d’électrons, dépôt à l’arc électrique, ablation laser, etc.Évaporation par faisceau d’électrons : un faisceau d’électrons irradie une cible de vanadium métallique et entraine son évaporation. La synthèse se fait sous atmosphère réactive de dioxygène et à des températures du substrat comprises entre 500 et 600 °C. Cette technique permet de déposer des films épitaxiés sur des substrats de saphir C.