dépôt par évaporation

Physique, Technique, IndustrieSynonyme de évaporation sous vide (cf. pour autres informations) : technique de dépôt sous vide par évaporation (aussi sublimation) d’une source, dont la matière se dépose et forme une couche mince sur le substrat.La présente invention concerne une source de dépôt par évaporation (60), une unité de plaque de limitation (80), et un masque de dépôt par évaporation (70), agencés dans cet ordre. L’unité de plaque de limitation comprend une pluralité de plaques de limitation (81) agencées le long d’une première direction. Au moins une partie des faces (83) qui prescrivent des espaces limités (82) de l’unité de plaque de limitation, et des faces (84) qui sont opposées à la source de dépôt par évaporation de l’unité de plaque de limitation, sont composées d'au moins un de deux éléments de face externe (110, 120) qui peuvent être fixés à la section de base (85) et/ou détachés de celle-ci. Avec une telle configuration, il est possible de réaliser un appareil de dépôt par évaporation qui présente une excellente aptitude à l’usage, et qui peut former, sur un substrat de grande taille, un film de recouvrement avec des bavochages inhibés au niveau de ses bords.Le dépôt par évaporation libre est le dispositif le plus simple conceptuellement : la source fait directement face au substrat ; elle est portée à haute température de sorte qu’un flux d’atomes évaporés ou sublimés est émis. Une partie de ce flux est dirigé sur le substrat où va croître le film par condensation.Figure 1.1. Machine de dépôt par évaporation thermique et par canon à électrons, modèle Syrus 1350 commercialisé par Bühler Leybold Optics [27]. Les dimensions de l’enceinte sont de l’ordre de 1 m. Les parois de l’enceinte sont en acier inoxydable poli. Le système d’évaporation par canon à électrons est situé en (4). En (3), on peut apercevoir un piège Meissner en cuivre derrière la protection métallique. Au-dessus, la grille est l’entrée de la pompe à vide. Les substrats sont disposés sur la calotte sphérique (2), appelée carousel, pour que l’angle d'incidence moyen de la vapeur soit proche de 0° quelque soit leur position. Le carousel peut tourner sur lui-même pendant le dépôt, pour assurer son homogénéité.