1. Physique, Technique, IndustrieDépôt en phase vapeur par des processus physiques.Il est possible de revêtir les métaux et certains polymères de couches minces de nitrure de titane principalement par dépôt physique en phase vapeur (PVD), par exemple par pulvérisation cathodique.De la même façon que pour l’évaporation, diverses modifications apportées à la pulvérisation cathodique donnent lieu à divers procédés d’élaboration (figure I.11). Ainsi, les techniques de dépôt physique en phase vapeur sont devenues très nombreuses… L’obtention de couches présentant la phase quadratique de nitrure de titane, ε-TiN, a été rapportée dans plusieurs travaux [33,55-57]. Cette phase est généralement obtenue à une basse pression partielle d’azote et à une température du substrat supérieure à 450 °C par des techniques de dépôt physique en phase vapeur.