dépôt par ablation laser pulsé

Physique, Technique, IndustrieProcédé de dépôt physique en phase vapeur utilisant l’ablation par laser pulsé d’une cible pour déposer la matière éjectée sous forme de couche mince.Nous avons préparé, par dépôt par ablation laser pulsé, des films d’acides aminés (phénylalanine et tyrosine), de calix-arènes et de protéines (albumine sérique bovine et hémoglobine), sans dégradation. Ces films ont été réalisés sous vide et à température ambiante, par ablation par un laser KrF de cibles de poudres compactées.Cet article est une revue de la technique de dépôt en couche mince par ablation laser pulsé ou “Pulsed Laser Deposition” (PLD). Cette technique de dépôt physique par phase vapeur (PVD) consiste à focaliser un laser de haute puissance sur une cible contenant les espèces chimiques du matériau à déposer.