1. Physique, TechnologieNombre moyen d’atomes pulvérisés (éjectés) par ion ou atome incident.Le rendement de pulvérisation S est défini comme le rapport du nombre d’atomes pulvérisés de la cible à celui du nombre d'ions incidents. Il est fonction de : l’énergie des ions incidents (celle-ci est proportionnelle à la tension appliquée à la cible), la nature (chimique et cristallographique) de la cible, l’angle d’incidence des ions par rapport à la cible, la nature du gaz, l’état physico-chimique de la surface de la cible (contamination).Dans le régime de collision simple, l’énergie de l’ion incident est faible. Les atomes éjectés sont ceux ayant directement subi une collision avec l’ion incident. Ce dernier peut également transférer de l’énergie à un atome de la cible pour le déplacer, mais ce recul n’est pas suffisant pour entrainer d’autres mouvements. Le rendement de pulvérisation reste alors limité. Dans le régime de cascade linéaire ou dans celui de « pointe thermique », les atomes de recul sont suffisamment énergétiques pour engendrer l’éjection d'autres atomes, ce qui augmente fortement le rendement de pulvérisation.