1. PhysiqueAccélérer un faisceau secondaire produit via un faisceau primaire accéléré.Pour améliorer la résolution, on peut soit postaccélérer le faisceau pour réduire ΔV/V, soit placer un spectromètre à double focalisation complet avec un autre électro-aimant ;Une tension d’accélération de -60 kv permet toutefois de postaccélérer les ions et d’atteindre ainsi des énergies d’implantation, pour des ions monochargés, de 100 keV.