Définitionsmicrolithographie

microlithographie

nom féminin
/mi.kʁo.li.to.ɡʁa.fi/
  1. ÉlectroniqueTechnique de fabrication de circuits intégrés par gravure à l’échelle du micromètre.Compte tenu des exigences de résolution, différentes méthodes de microlithographie ont été étudiées et utilisées au cours des dernières années

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